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李建泉, Wenqi Lu, XU Jun.基于虚拟仪器的自动发射探针诊断装置[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2022,1
gaopeng, XU Jun, piaoyong, 丁万昱, wangdehe, dongchuang.基体负偏压对SiCN薄膜结构和性能的影响[A],2006北京国际材料周暨中国材料研讨会,2022,362-368
Ding Wan-Yu, XU Jun, Wenqi Lu, dengxinlv, dongchuang.基片温度对SiNx薄膜结晶状态及机械性能的影响[J],物理学报,2022,57(8):5170-5175
谭伟, XU Jun, 王行行, Wenqi Lu.射频反应磁控溅射制备AlN多晶薄膜及其择优取向研究[J],真空科学与技术学报,2022,36(10):1092-1098
曾其勇, 周娟, XU Jun, 邓新禄.射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜[A],第八届全国真空冶金与表面工程学术会议,2022,1
曾其勇, 周娟, XU Jun, 邓新禄.射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜(英文)[A],第八届真空冶金与表面工程学术会议,2022,8
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Published Books
射频等离子体物理学
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Research Projects
纳米涂层等离子体制备技术拓展研发, 企事业单位委托科技项目, 2020/12/10, 结题
纳米涂层等离子体制备新技术二期研发, 企事业单位委托科技项目, 2018/11/09-2020/06/30, 结题
纳米涂层等离子体制备新技术研发, 企事业单位委托科技项目, 2017/09/18, 结题
硅掺杂二氧化铪反铁电纳米薄膜相变及储能特性研究, 国家自然科学基金项目, 2016/08/17, 结题