N型4H-SiC ECR氢等离子体处理研究
Release Time:2022-10-08 Hits:
Date of Publication: 2022-10-07
Journal: 固体电子学研究与进展
Institution: 电子信息与电气工程学部
Volume: 29
Issue: 3
Page Number: 334-338,416
ISSN: 1000-3819
Release Time:2022-10-08 Hits:
Date of Publication: 2022-10-07
Journal: 固体电子学研究与进展
Institution: 电子信息与电气工程学部
Volume: 29
Issue: 3
Page Number: 334-338,416
ISSN: 1000-3819