Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2001-08-03

Journal: 半导体技术

Included Journals: CSCD、PKU

Volume: 26

Issue: 8

Page Number: 70-73

ISSN: 1003-353X

Key Words: SiGe材料;异质结双极晶体管;Si1-xGex合金

Abstract: 介绍了SiGe材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。