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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2001-08-03
Journal:半导体技术
Included Journals:PKU、CSCD
Volume:26
Issue:8
Page Number:70-73
ISSN No.:1003-353X
Key Words:SiGe材料;异质结双极晶体管;Si1-xGex合金
Abstract:介绍了SiGe材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。
Pre One:等离子体加工对器件损伤的两种模式
Next One:MOS表面反型层少子时变效应研究
