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副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理. 微电子学与固体电子学
办公地点：物理学院431
联系方式：15904250968
电子邮箱：dbd01@dlut.edu.cn
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SiGe材料及其在半导体器件中的应用
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论文类型：期刊论文
发表时间：2001-08-03
发表刊物：半导体技术
收录刊物：PKU、CSCD
卷号：26
期号：8
页面范围：70-73
ISSN号：1003-353X
关键字：SiGe材料;异质结双极晶体管;Si1-xGex合金
摘要：介绍了SiGe材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。