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兆声微粒协同作用高精度金属微器件掩膜电解加工机理与方法

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Leading Scientist:duliqun

Project Participants:黄志平

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:51975103

Date of Project Approval:2019-08-16

Scheduled completion time:2023-12-31

Date of Project Initiation:2020-01-01

Date of Project Completion:2024-03-26

Pre One:大角度微棱镜斜三角锥阵列原始模具制备与应用

Next One:装配式保险机构的工艺技术开发