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硅基MEMS安全系统镀层工艺技术研究, 2024/06/07, 在研
高精密电铸微流控芯片模芯开发, 2022/04/20, 在研
安解装置的MEMS工艺技术开发, 2022/03/10-2024/09/11, 结题
超高电流密度下激光-电化学加工材料去除机制及成形规律, 2022/12/05, 在研
静电感应协同声表面波的掩膜电解加工新方法, 2023/08/24, 在研
高静压、差压敏感元件规模化制造与集成封装研究, 2023/12/01, 在研
液体检测微流控传感器与系统, 2020/12/31, 在研
微通道冷板精密焊接部件技术开发, 2020/09/30-2023/03/15, 结题
跨尺度安保机构的MEMS工艺技术开发, 2020/06/30-2023/07/14, 结题
微电沉积传质强化技术研究, 2020/12/01, 结题
微通道冷板精密焊接部件技术开发, 2020/09/30-2020/12/30, 进行
高精密网板加工技术开发, 2020/08/18-2024/06/27, 结题
长延时万向开关的研制, 2015/04/20, 结题
电场仿真优化与实验研究, 2019/11/07-2022/08/10, 结题
大角度微棱镜斜三角锥阵列原始模具制备与应用, 2019/09/05-2023/02/08, 结题
兆声微粒协同作用高精度金属微器件掩膜电解加工机理与方法, 2019/08/16-2024/03/26, 结题
装配式保险机构的工艺技术开发, 2019/06/20-2021/12/07, 结题
基于MEMS工艺的金属微通道底板成型技术, 2018/04/15-2021/01/13, 结题
金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究, 2017/07/15-2020/06/30, 结题
高冲击下MEMS惯性探测驱动一体化机构与微观碰撞机理研究, 2014/09/25, 结题
微机电惯性开关的研制, 2016/01/20, 结题
无氧铜金属微光栅的研制, 2015/06/20-2020/12/25, 撤销
金属模板的微电铸实验, 2014/10/22, 结题
超高深宽比惯性开关的研制, 2014/08/27, 结题
硅基MEMS热驱动器的研制, 2009/10/10, 结题
金属光栅微器件的制作工艺技术, 2013/11/19-2020/06/30, 结题
兆声调控电铸微结构内应力与均匀性的机理及方法, 2013/09/25-2017/12/31, 结题
活化与细密的微电铸层界面结合理论与控制方法, 2010/09/25-2013/12/31, 结题
微制造中有机高聚物超声时效理论与方法研究, 2006/09/25-2009/12/31, 结题
心肌损伤标志物超微量快速检测产品的研发, 2015/01/01-2017/12/31, 结题

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