基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
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Indexed by: Journal Papers
Date of Publication: 2019-08-20
Journal: 电加工与模具
Issue: 4
Page Number: 44-48,68
ISSN: 1009-279X
Key Words: 纳米压痕法;兆声辅助电铸;微电铸器件
Abstract: 微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响.针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸微器件为被测样片开展了应力测试实验,讨论了纳米压痕技术中两种常用的计算模型对应力测试结果的影响.结果表明:兆声辅助电铸器件中的残余应力相对无兆声辅助电铸器件减小了57.84％,验证了兆声辅助电铸能有效减小铸层中残余内应力,并从声流和稳态空化两种理论解释了兆声辅助电铸过程中铸层残余内应力减小的原因.