Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2011-02-05

Journal: 机械工程学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 47

Issue: 3

Page Number: 179-185

ISSN: 0577-6686

Key Words: 微电铸;SU-8胶;热溶胀性;隔离带;尺寸精度

Abstract: 以SU-8胶为微电铸母模制作镍模具时,胶模的热溶胀性使胶模变形,导致铸层线宽缩小,这是影响微电铸铸层尺寸精度的主要因素.针对密集蛇形沟道图形的镍模具微电铸工艺,以200.0 μm厚SU-8胶为胶模,研究微电铸铸层尺寸精度的控制方法,提出基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法,即在图形四周增设一条封闭等间距的隔离带,用隔离带减少影响图形区域的SU-8胶模的体积,阻止电铸时该处胶模的热溶胀对图形区域的影响,进而减小铸层尺寸变化.结果表明,采用增设隔离带方法制作的镍模具,胶模线宽变化量最大值由61 μm减小到31.4 μm,铸层尺寸相对误差的最大值由31.3%减小到16.7%,这种方法显著提高微电铸铸层的尺寸精度.