Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2013-03-15

Journal: 纳米技术与精密工程

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC

Volume: 11

Issue: 2

Page Number: 152-158

ISSN: 1672-6030

Key Words: 灰度掩模;设计算法;铺路法;任意形状图形;ObjectARX

Abstract: 灰度掩模技术是制作三维微纳结构的有效方法之一,灰度掩模图设计是灰度掩模技术的重要组成部分.目前,在微机械器件制作领域中,通常只给出常用规则形状三维结构对应的灰度掩模图的设计方法,对于任意形状图形的灰度掩模图设计鲜有报道.本文综合灰度光刻技术中的编码原理和有限元法中的铺路法,提出了适合于任意形状图形的灰度掩模图设计算法,解决了误差处理和图形闭合两个关键问题,给出了算法及图形的评价方法,并利用AutoCAD二次开发工具ObjectARX研究了算法的程序实现,构建了灰度掩模图的设计系统.利用该系统设计了多幅常规规则形状和任意形状灰度掩模图,结果表明,该系统可以高效地设计任意形状图形的灰度掩模.研究工作为任意形状图形灰度掩模图的设计提供了一种新方法,可以提高灰度掩模图的设计效率,为三维微纳器件的制作提供技术积累.