Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2016-08-20

Journal: 电加工与模具

Included Journals: ISTIC

Issue: 4

Page Number: 26-29,44

ISSN: 1009-279X

Key Words: 惯性开关 微电铸 UV-LIGA 跨尺度 inertial switch micro electroforming UV-LIGA cross-scale

Abstract: 采用基于光刻和微电铸的多层UV-LIGA工艺在金属基底上制作了惯性微开关。研究了电铸面积对胶层内应力的影响，解决了胶层从基底脱落的问题。通过实验分析了电流密度对铸层层间结合力的影响，解决了铸层分层问题。通过煮沸无机酸的方式去除高深宽比金属微结构内的光刻胶，解决了SU-8胶去胶难的问题。最终，成功制作出外形尺寸为14 mm×11 mm×0.6 mm的跨尺度、高深宽比惯性微开关，其最小线宽为29.8μm，最大深宽比为17∶1，从而克服了目前制作惯性微开关时基底易碎、需溅射导电种子层、整体尺寸小、深宽比低的局限性。