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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2016-11-15

Journal:光学精密工程

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:24

Issue:11

Page Number:2705-2711

ISSN No.:1004-924X

Key Words:等温热压整平;微注塑成型;微反应器塑件;平面度

Abstract:以一种微流控微反应器塑件为对象，提出了用于微塑件整平的等温热压工艺，研究了等温热压工艺对平板微塑件的整平机理。建立了描述该工艺的弹塑性数学模型，计算分析了外加压力和温度对塑件表面形貌的影响。综合考虑塑件整平效果和微结构保形，开展等温热压整平工艺实验，分析了关键工艺参数对器件整平精度的影响。研究结果表明：与压力载荷相比，热载荷对不平度的改善效果更明显；由于塑件端部区域受力面积大，其两端变形量均大于中间反应腔的变形量。在相同压力条件下，70℃时平面度和不平度的变化率均为最高。通过工艺优化，微反应器塑件平面度提高到了10μm 内，最大变化率可达72．7％；而不同区域的不平度变化率为3．50％～53．50％，微结构尺寸变化可控制在5μm 以下。本文研究成果对提高平板微塑件平整精度有借鉴作用。