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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2013-03-08

Journal:机械设计与制造

Included Journals:PKU、ISTIC

Issue:3

Page Number:139-142

ISSN No.:1001-3997

Key Words:徽电铸;纳秒脉冲电源;Proteus;数字电位器;C51单片机

Abstract:微细加工技术是MEMS器件加工工艺的关键环节,基于阴极生长成型的电沉积技术由于精度高,可控性强被广泛应用.微电铸是MEMS器件成型过程中的关键工艺步骤,脉冲电源是微电铸步骤中所使用的重要实验设备之一.传统的脉冲电源利用开关管斩波的方式,控制复杂且成本高,利用DDS芯片制作脉冲电源需要复杂的滤波环节.设计了一款脉冲波形为矩形,脉冲宽度在百纳秒级别的脉冲电源.选择ICL8038芯片作为高频脉冲发生器,利用AT89C51单片机控制数字电位器MAX5413来调节ICL8038芯片所产生的矩形脉冲波频率和占空比等参数,采用液晶显示屏来显示矩形脉冲波的频率和占空比参数的信息.并采用Proteus和Keil软件联调的方式,对电源电路进行了仿真设计.结果表明:波形纯净,脉冲陡峭,控制电路简单,无需复杂的滤波环节,成本较低,适用于微电铸加工.