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Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-08-25

Journal: 微纳电子技术

Volume: 40

Issue: 7

Page Number: 332-334,337

ISSN: 1671-4776

Key Words: 聚合酶链式反应;生物芯片;微型加热器;温度传感器

Abstract: 采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型加热器和温度传感器的特性,并给出扫描电子显微镜照片.实验证明Ni比较适合做温度传感器,NiCr是较好的微型加热器材料,能够满足PCR生物芯片温度特性的要求.