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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-11-15

Journal:大连理工大学学报

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD、EI、Scopus

Volume:50

Issue:6

Page Number:907-911

ISSN No.:1000-8608

Key Words:超声时效;SU-8光刻胶;内应力测量

Abstract:利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小聚合物SU-8胶层内应力方面的作用.对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层的内应力值.实验结果显示,在超声时效10 min时,聚合物SU-8胶内应力减小2 MPa,消除率约为23.17%.这表明,在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效减小聚合物SU-8胶内应力.