Hits:
First Author:duliqun
Disigner of the Invention:翟科,songmancang,赵雯,朱和卿,魏壮壮,姬学超
Authorization number:ZL 201811070961.4
Pre One:一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法
Next One:金属微器件LIGA成型过程中提高电铸层均匀性的方法