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Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2008-09-15

Journal: 装备制造技术

Issue: 9

Page Number: 44-46

ISSN: 1672-545X

Key Words: 超磁致伸缩薄膜 气体传感器 复合薄膜 共振频率 乙酸 敏感层

Abstract: 通过分析薄膜共振频率的影响因素,将一种具有正负磁致伸缩性能的复合薄膜应用到乙酸气体的检测中.在介绍该气体传感器检测原理的基础上,阐述了实验准备过程,并通过SEM图像和共振频率随时间的响应曲线比较了两种不同制备方法所得到的敏感层的优缺点,实验结果表明超磁致伸缩薄膜可适用于微气体传感器的研究.