Hits:
Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2003-02-25
Journal:仪表技术与传感器
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD
Volume:0
Issue:2
Page Number:6-11,14
ISSN No.:1002-1841
Key Words:薄膜;热物性;测试方法;MEMS
Abstract:介绍关于薄膜热物性的测试方法,分析了各种方法的适用条件,并对一些方法所得的薄膜热物性作了汇总比较,旨在促进MEMS中薄膜热物性测试工作的进一步发展.
