Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-02-25

Journal: 仪表技术与传感器

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 0

Issue: 2

Page Number: 6-11,14

ISSN: 1002-1841

Key Words: 薄膜;热物性;测试方法;MEMS

Abstract: 介绍关于薄膜热物性的测试方法,分析了各种方法的适用条件,并对一些方法所得的薄膜热物性作了汇总比较,旨在促进MEMS中薄膜热物性测试工作的进一步发展.