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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2005-08-30

Journal:仪器仪表学报

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:26

Issue:8

Page Number:797-800,821

ISSN No.:0254-3087

Key Words:热扩散率;交流量热法;自动测试系统;GPIB总线

Abstract:设计并组建了一套基于交流量热法的薄膜热扩散率的自动测试系统,实现了薄膜热扩散率的自动化测量.该系统以PC机为主控机,利用串口与运动控制卡通信,控制压电陶瓷超声电机实现采样点的精确定位,通过GPIB总线控制锁相放大器,采集位于待测薄膜表面上的微热电偶的温度响应信号.由温度信号的幅值与采样距离的关系得到薄膜的热扩散率.讨论了该系统的软硬件组成、测试原理及功能特性,并给出了系统软件的工作界面和测试数据.