Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2005-08-30

Journal: 仪器仪表学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 26

Issue: 8

Page Number: 797-800,821

ISSN: 0254-3087

Key Words: 热扩散率;交流量热法;自动测试系统;GPIB总线

Abstract: 设计并组建了一套基于交流量热法的薄膜热扩散率的自动测试系统,实现了薄膜热扩散率的自动化测量.该系统以PC机为主控机,利用串口与运动控制卡通信,控制压电陶瓷超声电机实现采样点的精确定位,通过GPIB总线控制锁相放大器,采集位于待测薄膜表面上的微热电偶的温度响应信号.由温度信号的幅值与采样距离的关系得到薄膜的热扩散率.讨论了该系统的软硬件组成、测试原理及功能特性,并给出了系统软件的工作界面和测试数据.