标题：
AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管温度传感器特性
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论文类型：
期刊论文
发表刊物：
物理学报
卷号：
69
期号：
4
页面范围：
228-233
ISSN号：
1000-3290
关键字：
GaN;高电子迁移率晶体管;温度传感器;灵敏度
摘要：
本文制作了基于无栅AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管结构的温度传感器,并对其温度相关的电学特性进行了表征.实验测试了器件从50℃到400℃的变温电流-电压特性,研究了器件灵敏度随着器件沟道长宽比的变化,并研究了在300—500℃高温的空气和氮气中经过1 h恒温加热后器件的电学特性变化.理论与实验研究结果表明,随着器件沟道长宽比的增大,器件的灵敏度会随之上升;在固定电流0.01 A下,器件电压随温度变化的平均灵敏度为44.5 mV/℃.同时,稳定性实验显示器件具有较好的高温保持稳定性.
发表时间：
2020-02-20
学位：博士
职称：副教授
学科：微电子学与固体电子学
所在单位：集成电路学院