标题：
衬底弯曲度对GaN基LED芯片性能的影响
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论文类型：
期刊论文
发表刊物：
发光学报
收录刊物：
EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号：
34
期号：
3
页面范围：
340-344
ISSN号：
1000-7032
关键字：
GaN;LED;弯曲度;残余应力
摘要：
利用低压MOCVD系统在弯曲度值不同的蓝宝石衬底上生长了GaN基LED外延结构并制作芯片.测量了芯片的主要电学和光学参数,并分析了衬底弯曲度值对芯片性能的影响.分析结果表明:存在弯曲度的衬底预先弛豫了外延层中的部分应力,改善了外延层的质量,从而提高了LED芯片的性能.随着衬底弯曲度值的逐渐增加,下层GaN对有源层中InGaN材料的压应力作用不断减小,导致芯片的主波长逐渐发生蓝移.
发表时间：
2013-03-15
学位：博士
职称：副教授
学科：微电子学与固体电子学
所在单位：集成电路学院