标题：
金属有机化学气相沉积法制备ZnO和ZnO∶Ni薄膜及其特性分析
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论文类型：
期刊论文
发表刊物：
高等学校化学学报
收录刊物：
PKU、ISTIC、CSCD、Scopus、SCIE
卷号：
32
期号：
12
页面范围：
2717-2720
ISSN号：
0251-0790
关键字：
ZnO薄膜;ZnO∶Ni薄膜;金属有机化学气相沉积;透过率
摘要：
采用金属有机化学气相沉积法制备了ZnO和ZnO∶Ni薄膜,并对它们的结构、光学和电学特性进行了对比研究.通过扫描电子显微镜( SEM)和X射线衍射(XRD)对薄膜的表面形貌和晶体结构进行了分析,结果表明,Ni元素的掺杂虽然降低了薄膜的晶体质量,但并未改变ZnO的纤锌矿结构.通过紫外-可见分光光度计对薄膜的光学特性进行了测试与分析,结果表明,ZnO∶Ni薄膜在可见光区的平均透过率可达90％,优于ZnO薄膜在可见光区的平均透过率(85％).霍尔(Hall)测试显示ZnO∶Ni薄膜的导电类型仍为n型,但其电阻率已经明显增加,载流子浓度也远低于未掺杂ZnO薄膜的载流子浓度,说明Ni元素的掺杂对ZnO薄膜的特性产生了很大影响.
发表时间：
2011-12-10
学位：博士
职称：副教授
学科：微电子学与固体电子学
所在单位：集成电路学院