高尚

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械制造及其自动化

办公地点:机械工程学院高性能制造研究所#5015室

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论文成果

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Insight into Polishing Slurry and Material Removal Mechanism of Photoassisted Chemical Mechanical Polishing of YAG Crystals

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论文类型:期刊论文

论文编号:382767

发表时间:2023-09-12

发表刊物:LANGMUIR

卷号:39

期号:38

页面范围:13668-13677

ISSN号:0743-7463

关键字:ACTIVATION; IRON; LASER; OXIDATION; PEROXYMONOSULFATE; RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY; SULFATE