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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
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Surface Roughness Model of Ground 4H-SiC Considering Ductile and Brittle Removal
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论文类型：期刊论文
论文编号：394124
发表时间：2024-07-01
发表刊物：JOURNAL OF MANUFACTURING SCIENCE AND ENGINEERING-TRANSACTIONS OF THE ASME
卷号：146
期号：7
ISSN号：1087-1357
关键字：BEHAVIOR; CERAMICS; DEFORMATION MECHANISM; DEPTH; ELASTIC-MODULUS; HARDNESS; INDENTATION SIZE; PREDICTION MODEL; WAFERS; WHEEL