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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
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Mechanical effect of abrasives on silicon surface in chemo-mechanical grinding
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论文类型：期刊论文
论文编号：370537
发表时间：2023-11-01
发表刊物：INTERNATIONAL JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCES
卷号：257
ISSN号：0020-7403
关键字：BRITTLE TRANSITION; CUTTING DEPTH; DAMAGE; DUCTILE; MATERIAL REMOVAL; MODEL; MONOCRYSTALLINE SILICON; PHASE-TRANSFORMATIONS; SINGLE-CRYSTAL SILICON; STRESS-FIELD