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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
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[单晶碳化硅电化学机械抛光液的组分设计与优化]
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论文类型：期刊论文
论文编号：413441
发表时间：2024-10-31
发表刊物：Jingangshi yu Moliao Moju Gongcheng/Diamond and Abrasives Engineering
卷号：44
期号：5
页面范围：675 - 684
ISSN号：1006-852X
关键字：electrochemical oxidation; material removal rate; polishing slurry compositions; single crystal SiC; surface roughness