|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：手机：15104088992
电子邮箱：gaoshang@dlut.edu.cn
扫描关注
单晶碳化硅电化学机械抛光液的组分设计与优化
点击次数：
发表时间：2024-12-05
发表刊物：金刚石与磨料磨具工程
卷号：44
期号：05
页面范围：675-684
ISSN号：1006-852X
关键字：electrochemical oxidation; material removal rate; polishing slurry compositions; single crystal SiC; surface roughness
CN号：41-1243/TG