高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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单晶碳化硅电化学机械抛光液的组分设计与优化
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论文类型：期刊论文
论文编号：413441
发表时间：2024-10-20
发表刊物：金刚石与磨料磨具工程
卷号：44
期号：5
页面范围：675-684
ISSN号：1006-852X
关键字：单晶碳化硅; 抛光液成分; 材料去除率; 电化学氧化; 表面粗糙度
CN号：41-1243/TG