高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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电解液浓度对4H-SiC电化学机械抛光加工的影响研究
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论文类型：期刊论文
论文编号：594145
发表时间：2025-01-01
发表刊物：制造技术与机床
页面范围：1-13
ISSN号：1005-2402
关键字：4H-SiC; electrochemical mechanical polishing; electrochemical oxidation; electrolyte concentration; surface morphology
CN号：11-3398/TH