高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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高端芯片用半导体基片原子级磨削技术的研究现状与发展趋势
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论文类型：期刊论文
论文编号：592703
发表时间：2025-01-01
发表刊物：China Surface Engineering
卷号：38
期号：5
页面范围：60-82
ISSN号：1007-9289
关键字：atomic-level grinding; machining process; mechanism; semiconductor substrate