高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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Predictive models for the surface roughness and subsurface damage depth of semiconductor materials in precision grinding
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论文类型：期刊论文
论文编号：478461
发表时间：2025-06-01
发表刊物：INTERNATIONAL JOURNAL OF EXTREME MANUFACTURING
卷号：7
期号：3
ISSN号：2631-8644
关键字：BRITTLE MATERIALS; CERAMICS; CHIP THICKNESS; ELASTIC-MODULUS; FORCE; HARDNESS; PLASTIC INDENTATION DAMAGE; SILICON-WAFER