高尚
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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：
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Effect of process parameters on oxidation-enhanced removal mechanisms of GaN in photoelectrochemical mechanical polishing
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论文类型：期刊论文
论文编号：565588
发表时间：2025-09-15
发表刊物：INTERNATIONAL JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCES
卷号：302
ISSN号：0020-7403
关键字：CMP; DAMAGE; GALLIUM NITRIDE; GROWTH; PHASE; PLANARIZATION; SLURRY; SURFACTANT; TRANSITION; WURTZITE