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面向工业等离子体源的一些关键科学问题的研究

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Leading Scientist:wangyounian

Project Participants:YongXin Liu,Zhang YuRu

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:重点项目

Status:在研

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:11935005

Date of Project Approval:2019-08-16

Scheduled completion time:2024-12-31

Date of Project Initiation:2020-01-01

Pre One:等离子体增强化学气相沉积工艺过程的优化研究

Next One:3DHTM等离子体仿真