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面向高深宽比刻蚀工艺的超低频容性耦合等离子体源的特性研究

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Leading Scientist:张钰如

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:在研

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:12275041

Date of Project Approval:2022-09-08

Scheduled completion time:2026-12-31

Date of Project Initiation:2023-01-01

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