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[1] PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体数模研究,企事业单位委托科技项目,2021-03-17,2023-07-14,结题
[6] 带有容性偏压的感性耦合放电的混合模拟方法及实验验证,国家自然科学基金项目,2018-08-16,2023-03-31,结题
[8] 宽能域离子束在等离子体中的聚焦效应及激发双流不稳定性的粒子模拟及实验验证,国家自然科学基金项目,2017-08-17,2022-04-18,结题
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