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KDP晶体磨削表面缺陷及损伤分析

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-03-25

Journal:中国机械工程

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:19

Issue:6

Page Number:709-712

ISSN No.:1004-132X

Key Words:KDP晶体;磨削;表面损伤;脆性去除

Abstract:在对磷酸二氢钾(KDP)晶体进行磨削加工的基础上,利用光学显微镜、ZYGO三维表面形貌仪和扫描电子显微镜对KDP晶体磨削加工表面层缺陷及损伤进行了研究,发现磨削加工后的KDP晶体表面有较大的划痕和脆性破碎现象,材料以脆性去除为主.

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