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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：清华大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
学科：微电子学与固体电子学. 凝聚态物理. 控制理论与控制工程
电子邮箱：dwang121@dlut.edu.cn
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N型4H-SiC ECR氢等离子体处理研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2009-09-25
发表刊物：固体电子学研究与进展
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号：29
期号：3
页面范围：334-338,416
ISSN号：1000-3819
关键字：碳化硅;氢等离子体;电子回旋共振等离子体;反射式高能电子衍射;X射线光电子能谱
摘要：采用电子回旋共振(ECR)氢等离子体对n型4H-SiC(0001)表面进行处理,并利用原位高能电子衍射(RHEED)对处理过程进行实时监控.在200℃～700℃温度范围内获得的RHEED图像成条纹状且对比清晰,表明SiC表面原子排列规则,单晶取向性好,计算表明表面未发生重构.用X射线光电子能谱(XPS)技术对表面成分进行分析,结果显示,表面C/C-H污染物被去除、氧含量降低.