高飞，教授/博士生导师，集成电路学院党委书记，三束材料改性教育部重点实验室副主任，中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会副主任委员，《Plasma Science and Technology》期刊编委，大连市高端人才，大连理工大学星海人才培育计划“星海优青”入选者，射频等离子体物理团队（辽宁省首届优秀研究生导师团队、大连理工大学科技创新团队）的核心成员，曾获大连市科学技术奖一等奖（第一获奖人）。

主要从事射频等离子体物理及应用技术研究。工作面向IC装备制造产业，采用实验诊断和数值仿真模拟的方法研究射频感应耦合等离子体刻蚀机、PECVD装备中的等离子体工艺腔室的放电机理。面向磁约束核聚变中性束注入系统中关键装备——大功率低气压射频负氢离子源开展物理基础研究。

作为负责人承担国家重点研发计划课题1项、国家自然科学基金面上项目2项、青年项目1项及其他纵向/横向课题若干项，主持项目总经费超五千万元；并作为核心成员参与完成国家科技重大专项课题1项、ITER项目1项及国家自然科学基金重点项目等若干项。

主要研究方向：

1. 射频感应耦合等离子体源物理基础研究

2. 脉冲调制射频感应等离子体刻蚀机理研究

3. 射频负氢离子源物理基础研究

4. 射频等离子体与材料相互作用研究

5. 新型射频放电机理探索

所在课题组网站：http://pseg.dlut.edu.cn