Personal Information
Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
Academic Titles:集成电路学院党委书记
Research Projects
- [1] 基于阵列式射频感性耦合微束放电的新型负氢离子源物理基础研究,国家自然科学基金项目,2020-09-18,在研
- [2] CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估,国家科技部,2017-07-01,2024-05-15,结题
- [3] 面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究,国家自然科学基金项目,2016-08-17,结题
- [4] 宽能域离子束在等离子体中的能量沉积及其激发的自调制不稳定性和尾波场,国家自然科学基金项目,2015-09-01,2020-03-31,结题
- [5] 射频感应耦合等离子体对材料表面上原子再复合行为的影响,国家自然科学基金项目,2012-09-25,结题
- [6] 射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究,国家自然科学基金项目,2014-09-25,2017-12-31,结题
- [7] 弱磁场低频驱动高功率低气压感应耦合等离子体源放电机理研究,国家自然科学基金项目,2012-09-25,2016-12-31,完成
- [8] 大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究,国家科技部,2014-12-31,结题
- [9] 微束等离子阵列反应器的初步验证,企事业单位委托科技项目,2018-11-20,2020-06-30,结题
- [10] 反应离子刻蚀大口径元件适用性研究,企事业单位委托科技项目,2018-10-17,结题