Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
Main positions:物理学院副院长
NO. | Faculty/School | Major | Year |
1 | 微电子学院 | 集成电路工程 | 2023 |
2 | 微电子学院 | 电子科学与技术 | 2023 |
3 | 物理学院 | 等离子体物理 | 2023 |
NO. | Faculty/School | Major | Research Focus | Year |
1 | (开发区校区)微电子学院 | 集成电路工程 | 等离子体刻蚀晶圆工艺的机理 | 2023 |
2 | (开发区校区)微电子学院 | 集成电路工程 | 工业等离子体源的实验诊断 | 2023 |
3 | (开发区校区)微电子学院 | 集成电路工程 | 等离子体工艺腔室的多物理建模与仿真 | 2023 |
4 | (主校区)物理学院 | 物理学 | 低气压射频等离子体实验与诊断 | 2023 |
5 | (主校区)物理学院 | 物理学 | 等离子体工艺腔室建模与仿真 | 2023 |
6 | (主校区)物理学院 | 物理学 | 低温等离子体物理及应用研究 | 2023 |