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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：guodm@dlut.edu.cn
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半导体制造中超精密加工技术的未来发展
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论文类型：会议论文
发表时间：2004-06-30
页面范围：1
关键字：集成电路;超精密加工;发展
摘要：集成电路(IC)和光电子技术已经成为国民经济和社会信息化发展最主要的高新技术之一。微电子和光电子制造业已经是集国家利益、人类智慧和最新科技于一体的基础性和战略性产业,也是当今世界竞争最激烈、发展最迅速的领域。谁