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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
电子邮箱：huangzx@dlut.edu.cn
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MEMS中薄膜热物性测试方法研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2003-02-25
发表刊物：仪表技术与传感器
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
卷号：0
期号：2
页面范围：6-11,14
ISSN号：1002-1841
关键字：薄膜;热物性;测试方法;MEMS
摘要：介绍关于薄膜热物性的测试方法,分析了各种方法的适用条件,并对一些方法所得的薄膜热物性作了汇总比较,旨在促进MEMS中薄膜热物性测试工作的进一步发展.