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论文类型：期刊论文

发表时间：2005-08-30

发表刊物：仪器仪表学报

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

卷号：26

期号：8

页面范围：797-800,821

ISSN号：0254-3087

关键字：热扩散率;交流量热法;自动测试系统;GPIB总线

摘要：设计并组建了一套基于交流量热法的薄膜热扩散率的自动测试系统,实现了薄膜热扩散率的自动化测量.该系统以PC机为主控机,利用串口与运动控制卡通信,控制压电陶瓷超声电机实现采样点的精确定位,通过GPIB总线控制锁相放大器,采集位于待测薄膜表面上的微热电偶的温度响应信号.由温度信号的幅值与采样距离的关系得到薄膜的热扩散率.讨论了该系统的软硬件组成、测试原理及功能特性,并给出了系统软件的工作界面和测试数据.