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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：三束实验室4号楼
电子邮箱：
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An experimental and computational investigation of discharge mode transitions in a partially magnetized radio frequency capacitively coupled oxygen discharge
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论文类型：期刊论文
论文编号：395178
发表时间：2024-08-10
发表刊物：PLASMA PROCESSES AND POLYMERS
卷号：21
期号：8
ISSN号：1612-8850
关键字：AR; DRIVEN; ENERGY-DISTRIBUTION FUNCTION; OPTIMIZATION; OXIDATION; PLASMA-DENSITY
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