赵凯

个人信息Personal Information

副教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:三束实验室3号楼

电子邮箱:kaizhao@dlut.edu.cn

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论文成果

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An experimental and computational investigation of discharge mode transitions in a partially magnetized radio frequency capacitively coupled oxygen discharge

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发表时间:2024-09-05

发表刊物:PLASMA PROCESSES AND POLYMERS

卷号:21

期号:8

ISSN号:1612-8850

关键字:AR; DRIVEN; ENERGY-DISTRIBUTION FUNCTION; OPTIMIZATION; OXIDATION; PLASMA-DENSITY