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副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：三束实验室4号楼
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Low-frequency dependence of plasma characteristics in dual-frequency capacitively coupled plasma sources
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论文类型：期刊论文
论文编号：384531
发表时间：2024-02-05
发表刊物：APPLIED PHYSICS LETTERS
卷号：124
期号：6
ISSN号：0003-6951
关键字：AR; GLOW-DISCHARGES; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; PARAMETERS; PRESSURE
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