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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：三束实验室3号楼
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Fluid simulation of the electromagnetic effects in large-area very-high-frequency capacitively coupled plasmas and a method to improve the plasma radial uniformity
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发表时间：2025-10-25
发表刊物：JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
卷号：58
期号：32
ISSN号：0022-3727
关键字：LENS; NONUNIFORMITIES; SHAPED ELECTRODE; STANDING-WAVE