Improvement of crystal quality and UV transparence of dielectric Ga2O3 thin films via thermal annealing in N-2 atmosphere
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发表时间：2022-10-03
发表刊物：JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE MATERIALS IN ELECTRONICS
卷号：23
期号：2
页面范围：542-545
ISSN号：0957-4522
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发表刊物：JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE MATERIALS IN ELECTRONICS
卷号：23
期号：2
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ISSN号：0957-4522