大连理工大学主页平台管理系统秦福文--中文主页-- Synergistic passivation effects of nitrogen plasma and oxygen plasma on improving the interface quality and bias temperature instability of 4H-SiC MOS capacitors

秦福文

副教授硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理
办公地点：科技园c座303-2
联系方式：qfw@dlut.edu.cn
电子邮箱：qfw@dlut.edu.cn

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Synergistic passivation effects of nitrogen plasma and oxygen plasma on improving the interface quality and bias temperature instability of 4H-SiC MOS capacitors

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论文类型：期刊论文

发表时间：2020-01-01

发表刊物：Applied Surface Science

卷号：513

页面范围：145837-145837

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