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    秦福文

    • 副教授       硕士生导师
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：凝聚态物理
    • 办公地点：科技园c座303-2
    • 联系方式：qfw@dlut.edu.cn
    • 电子邮箱：qfw@dlut.edu.cn

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    蓝宝石衬底分步清洗及其对后续氮化的影响

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    发表时间：2022-10-06

    发表刊物：半导体技术

    卷号：30

    期号：1

    页面范围：57-60

    ISSN号：1003-353X

    备注：新增回溯数据


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