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    秦福文

    • 副教授     硕士生导师
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 所在单位:物理学院
    • 学科:凝聚态物理
    • 办公地点:科技园c座303-2
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    论文成果

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    蓝宝石衬底分步清洗及其对后续氮化的影响

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      发布时间:2022-10-08

      发表时间:2022-10-06

      发表刊物:半导体技术

      卷号:30

      期号:1

      页面范围:57-60

      ISSN号:1003-353X

      备注:新增回溯数据