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    秦福文

    • 副教授       硕士生导师
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：凝聚态物理
    • 办公地点：科技园c座303-2
    • 联系方式：qfw@dlut.edu.cn
    • 电子邮箱：qfw@dlut.edu.cn

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    升级冶金级Si衬底上ECR-PECVD沉积多晶Si薄膜

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    发表时间：2022-10-09

    发表刊物：半导体技术

    所属单位：材料科学与工程学院

    期号：2

    页面范围：117-120

    ISSN号：1003-353X

    备注：新增回溯数据


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