秦福文
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专利名称:电子回旋共振微波等离子体增强金属有机化学汽相沉积外延系统与技术
第一作者:徐茵
发明设计人:秦福文,顾彪
申请号:CN01101424.5
授权日期:2001-01-11
授权号:CN1364946
发布时间:2019-10-10
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