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专利名称：一种柔性聚酰亚胺衬底上的氮化镓基薄膜及其制备方法

第一作者：秦福文

发明设计人：马春雨,白亦真,王德君,林国强

所属单位：物理学院

申请号：CN107083540A

授权号：CN201710252532.8

发布时间：2022-10-19