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论文类型：期刊论文

发表时间：2005-05-25

发表刊物：真空

收录刊物：PKU、ISTIC

卷号：42

期号：3

页面范围：15-19

ISSN号：1002-0322

关键字：类金刚石;氟化类金刚石;结构;性能;应用

摘要：氟化类金刚石膜是基于传统类金刚石膜的基础上发展起来的一种改性材料,该膜具有许多良好的性能,包括疏水性能、电学性能、光学性能、机械性能、热稳定性以及生物相容性,因此引起了人们的极大关注.本文介绍了氟化类金刚石膜的结构、性能、应用领域和发展趋势.